Skip navigation
Use este identificador para citar ou linkar para este item: https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/12084
Título: Preparação e Caracterização de Arranjos Magnéticos Extensos Obtidos por Litografia Óptica de Escrita Direta
Autor(es): FRANÇA, Claudio Abreu de
Palavras-chave: Microlitografia; DWL; Arranjos magnéticos; VSM
Data do documento: 31-Jan-2013
Editor: Universidade Federal de Pernambuco
Citação: FRANÇA, Claudio Abreu de. Preparação e caracterização de arranjos magnéticos extensos obtidos por litografia óptica de escrita direta . Recife, 2013. 95 f. Dissertação (mestrado) - UFPE, Centro de Ciências Exatas e da Natureza , Programa de Pós-graduação em Ciência de Materiais, 2013..
Resumo: Este trabalho teve como principais objetivos a exploração e o controle da técnica de Litografia Óptica de Escrita Direta na preparação de arranjos magnéticos extensos e de boa qualidade. Foram preparadas microestruturas à base de Permalloy e realizamos a caracterização morfologia e magnética desses sistemas. Os objetos obtidos pela técnica de microlitografia foram círculos e elipsóides cujas dimensões se restringiram a alguns micrômetros e foram dispostos em uma matriz quadrada contendo milhares destes elementos. Além de utilizar o DWL66 da HEIDELBERG instruments para a fabricação das máscaras de fotoresina, também foi utilizado o plasma etching para a limpeza do substrato antes e depois do processo de escrita. A deposição do material magnético foi utilizando magnetron sputtering DC. Ainda na preparação, foi confeccionada uma câmara para iluminação das amostras, com o intuito de aperfeiçoar o processo de sensibilização da fotoresina e assim minimizar a presença de resíduos decorrentes da etapa de remoção pelo revelador. Para a caracterização estrutural das amostras foram feitas análises por microscopia óptica, microscopia de Força Atômica e microscopia eletrônica de varredura. As imagens obtidas por essas técnicas revelaram arranjos extensos de boa qualidade e estruturas cujas dimensões e formas obedeciam à regularidade desejada, indicando a aplicabilidade da técnica e a confiabilidade em reproduzir estruturas. No que diz respeito à caracterização magnética, utilizou-se um Magnetômetro de Amostra Vibrante para obtenção de curvas de magnetização em função do campo aplicado.
URI: https://repositorio.ufpe.br/handle/123456789/12084
Aparece na(s) coleção(ções):Dissertações de Mestrado - Ciências de Materiais

Arquivos deste item:
Arquivo Descrição TamanhoFormato 
Dissertação Claudio Abreu de França.pdf3,73 MBAdobe PDFVer/Abrir


Este arquivo é protegido por direitos autorais



Este item está licenciada sob uma Licença Creative Commons Creative Commons